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Approaches to CMOS Integration of Epitaxial Gadolinium Oxide High-K Dielectrics

Gottlob, H. D. B. ; Echtermeyer, T. ; Mollenhauer, T. ; Schmidt, M. ; Efavi, J. ; Wahlbrink, T. ; Lemme, L. M. ; Kurz, H. ; Endres, Ralf ; Stefanov, Yordan ; Schwalke, Udo ; Czernohorsky, M. ; Bugiel, E. ; Fissel, A. ; Osten, H. J. :
Approaches to CMOS Integration of Epitaxial Gadolinium Oxide High-K Dielectrics.
[Online-Edition: http://dx.doi.org/10.1109/ESSDER.2006.307660]
In: Proceedings of the 36th European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC) pp. 150-153.
[Artikel], (2006)

Offizielle URL: http://dx.doi.org/10.1109/ESSDER.2006.307660
Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2006
Autor(en): Gottlob, H. D. B. ; Echtermeyer, T. ; Mollenhauer, T. ; Schmidt, M. ; Efavi, J. ; Wahlbrink, T. ; Lemme, L. M. ; Kurz, H. ; Endres, Ralf ; Stefanov, Yordan ; Schwalke, Udo ; Czernohorsky, M. ; Bugiel, E. ; Fissel, A. ; Osten, H. J.
Titel: Approaches to CMOS Integration of Epitaxial Gadolinium Oxide High-K Dielectrics
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Proceedings of the 36th European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC)
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik
Veranstaltungstitel: 36th European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC)
Veranstaltungsort: Montreux, Schweiz
Veranstaltungsdatum: 19.-21.09.2006
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:26
Offizielle URL: http://dx.doi.org/10.1109/ESSDER.2006.307660
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