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Miniaturisierbare skalierbare Positioniersysteme mit monolithischen kinematischen Strukturen

Schlaak, Helmut F. ; Jungnickel, Uwe ; Eicher, Dirk :
Miniaturisierbare skalierbare Positioniersysteme mit monolithischen kinematischen Strukturen.
In: :Mechanical engineering from macro to nano : 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, 19. - 23.9.2005 ; [proceedings ; ... the jubilee Colloquium and the title is "Mechanical Engineering - from Macro to Nano" ; Jubiläumskolloquium ... unter dem . Peter Scharff].- Ilmenau : Verl. ISLE , 23.9.2005 ; [proceedings ; ... the jubilee Colloquium and the title is "Mechanical Engineering - from Macro to Nano" ; Jubiläumskolloquium ... unter dem Thema "Maschinenbau von Makro bis Nano"] / Technische Universität Ilmenau, Faculty of Mechanical Eng
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2005)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2005
Autor(en): Schlaak, Helmut F. ; Jungnickel, Uwe ; Eicher, Dirk
Titel: Miniaturisierbare skalierbare Positioniersysteme mit monolithischen kinematischen Strukturen
Sprache: Deutsch
Reihe: :Mechanical engineering from macro to nano : 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, 19. - 23.9.2005 ; [proceedings ; ... the jubilee Colloquium and the title is "Mechanical Engineering - from Macro to Nano" ; Jubiläumskolloquium ... unter dem
Ort: 23.9.2005 ; [proceedings ; ... the jubilee Colloquium and the title is "Mechanical Engineering - from Macro to Nano" ; Jubiläumskolloquium ... unter dem Thema "Maschinenbau von Makro bis Nano"] / Technische Universität Ilmenau, Faculty of Mechanical Eng
Verlag: Peter Scharff].- Ilmenau : Verl. ISLE
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:24
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