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Miniaturisierbare skalierbare Positioniersysteme mit monolithischen kinematischen Strukturen

Schlaak, Helmut F. and Jungnickel, Uwe and Eicher, Dirk (2005):
Miniaturisierbare skalierbare Positioniersysteme mit monolithischen kinematischen Strukturen.
23.9.2005 ; [proceedings ; ... the jubilee Colloquium and the title is "Mechanical Engineering - from Macro to Nano" ; Jubiläumskolloquium ... unter dem Thema "Maschinenbau von Makro bis Nano"] / Technische Universität Ilmenau, Faculty of Mechanical Eng, Peter Scharff].- Ilmenau : Verl. ISLE, In: :Mechanical engineering from macro to nano : 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, 19. - 23.9.2005 ; [proceedings ; ... the jubilee Colloquium and the title is "Mechanical Engineering - from Macro to Nano" ; Jubiläumskolloquium ... unter dem, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2005
Creators: Schlaak, Helmut F. and Jungnickel, Uwe and Eicher, Dirk
Title: Miniaturisierbare skalierbare Positioniersysteme mit monolithischen kinematischen Strukturen
Language: German
Series Name: :Mechanical engineering from macro to nano : 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, 19. - 23.9.2005 ; [proceedings ; ... the jubilee Colloquium and the title is "Mechanical Engineering - from Macro to Nano" ; Jubiläumskolloquium ... unter dem
Place of Publication: 23.9.2005 ; [proceedings ; ... the jubilee Colloquium and the title is "Mechanical Engineering - from Macro to Nano" ; Jubiläumskolloquium ... unter dem Thema "Maschinenbau von Makro bis Nano"] / Technische Universität Ilmenau, Faculty of Mechanical Eng
Publisher: Peter Scharff].- Ilmenau : Verl. ISLE
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
Date Deposited: 20 Nov 2008 08:24
License: [undefiniert]
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