Rispal, Lorraine ; Schwalke, Udo (2005)
Carbon Nanotube Devices Integrated in the CMOS Process Using Chemical Vapour Deposition.
European Congress on Advanced Materials and Processes (EUROMAT). Prag, Tschechien (05.-08.09.2005)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2005 |
| Autor(en): | Rispal, Lorraine ; Schwalke, Udo |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Carbon Nanotube Devices Integrated in the CMOS Process Using Chemical Vapour Deposition |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 8 September 2005 |
| Veranstaltungstitel: | European Congress on Advanced Materials and Processes (EUROMAT) |
| Veranstaltungsort: | Prag, Tschechien |
| Veranstaltungsdatum: | 05.-08.09.2005 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:23 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:07 |
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