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High-accuracy deflection measurement of a piezoelectric beam multilayer actuator with an integrated capacitive strain sensor

Ballas, Ruediger ; Schmid, Andreas Joseph ; Schlaak, Helmut F. ; Mössinger, A. ; Meissner, Peter ; Töpfer, U. ; Murmann-Biesenecker, H. ; Munz, G. ; Maichl, M. :
High-accuracy deflection measurement of a piezoelectric beam multilayer actuator with an integrated capacitive strain sensor.
In: My2M 2004 <1, 2004, Nürnberg>: Proceedings ... - Microtechnology, Mechatronics and Materials : international conference [in connection with] O.M.P. - Opto Micro Products, International Trade Fair for Optical and Microtechnology Products, 25 - 27 May 2004 . international conference [in connection with] O.M.P. - Opto Micro Products , Microtechnology, Mechatronics and Materials
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2004)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2004
Autor(en): Ballas, Ruediger ; Schmid, Andreas Joseph ; Schlaak, Helmut F. ; Mössinger, A. ; Meissner, Peter ; Töpfer, U. ; Murmann-Biesenecker, H. ; Munz, G. ; Maichl, M.
Titel: High-accuracy deflection measurement of a piezoelectric beam multilayer actuator with an integrated capacitive strain sensor
Sprache: Englisch
Reihe: My2M 2004 <1, 2004, Nürnberg>: Proceedings ... - Microtechnology, Mechatronics and Materials : international conference [in connection with] O.M.P. - Opto Micro Products, International Trade Fair for Optical and Microtechnology Products, 25 - 27 May 2004
Ort: Microtechnology, Mechatronics and Materials
Verlag: international conference [in connection with] O.M.P. - Opto Micro Products
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:22
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