Ballas, Ruediger ; Schmid, Andreas Joseph ; Schlaak, Helmut F. ; Mössinger, A. ; Meissner, Peter ; Töpfer, U. ; Murmann-Biesenecker, H. ; Munz, G. ; Maichl, M. (2004)
High-accuracy deflection measurement of a piezoelectric beam multilayer actuator with an integrated capacitive strain sensor.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2004 |
| Autor(en): | Ballas, Ruediger ; Schmid, Andreas Joseph ; Schlaak, Helmut F. ; Mössinger, A. ; Meissner, Peter ; Töpfer, U. ; Murmann-Biesenecker, H. ; Munz, G. ; Maichl, M. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | High-accuracy deflection measurement of a piezoelectric beam multilayer actuator with an integrated capacitive strain sensor |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2004 |
| Ort: | Microtechnology, Mechatronics and Materials |
| Verlag: | international conference [in connection with] O.M.P. - Opto Micro Products |
| Reihe: | My2M 2004 <1, 2004, Nürnberg>: Proceedings ... - Microtechnology, Mechatronics and Materials : international conference [in connection with] O.M.P. - Opto Micro Products, International Trade Fair for Optical and Microtechnology Products, 25 - 27 May 2004 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:22 |
| Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 08:00 |
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