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Technologische Realisierung und Charakterisierung von elektrostatischen Festkörperaktoren mit elastischem Dielektrikum

Jungmann, Markus and Matysek, Marc and Schlaak, Helmut F. (2004):
Technologische Realisierung und Charakterisierung von elektrostatischen Festkörperaktoren mit elastischem Dielektrikum.
Berlin [u.a.], VDE-Verl., In: Innovative Klein- und Mikroantriebstechnik : Vorträge der ETG- /GMM-Fachtagung am 3. und 4. März 2004 in Darmstadt / wiss.Tagungsleiter: G. Huth. Veranstalter Energietechnische Gesellschaft im VDE (ETG); VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro-u. Fe, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2004
Creators: Jungmann, Markus and Matysek, Marc and Schlaak, Helmut F.
Title: Technologische Realisierung und Charakterisierung von elektrostatischen Festkörperaktoren mit elastischem Dielektrikum
Language: German
Series Name: Innovative Klein- und Mikroantriebstechnik : Vorträge der ETG- /GMM-Fachtagung am 3. und 4. März 2004 in Darmstadt / wiss.Tagungsleiter: G. Huth. Veranstalter Energietechnische Gesellschaft im VDE (ETG); VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro-u. Fe
Place of Publication: Berlin [u.a.]
Publisher: VDE-Verl.
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
Date Deposited: 20 Nov 2008 08:22
License: [undefiniert]
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