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Scanning near field thermal microscopy on a micromachined thin membrane

Altes, ; Mutamba, Kabula ; Heiderhoff, R. ; Hartnagel, Hans L. ; Balk, L. J. :
Scanning near field thermal microscopy on a micromachined thin membrane.
In: Superlattices and microstructures, 35 pp. 465-476.
[Artikel], (2004)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2004
Autor(en): Altes, ; Mutamba, Kabula ; Heiderhoff, R. ; Hartnagel, Hans L. ; Balk, L. J.
Titel: Scanning near field thermal microscopy on a micromachined thin membrane
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Superlattices and microstructures
Band: 35
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:22
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