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Piezoelectric beam multilayer actuator with an integrated capacitive strain sensor to detect deflection

Schmidt, J. ; Töpfer, U. ; Ballas, Ruediger ; Schlaak, Helmut F. ; Munz, G. ; Maichl, M. ; Münzenmaier, A. :
Piezoelectric beam multilayer actuator with an integrated capacitive strain sensor to detect deflection.
In: SENSOR 2003 : 11th international conference ; 13 - 15 May 2003, Exhibition Centre Nuremberg, Germany ; proceedings / an event of the Association for Sensor Technology, AMA.- Wunstorf : AMA Service Ges., 2003.- S. 279-286 . AMA Service Ges. , Wunstorf
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2003)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2003
Autor(en): Schmidt, J. ; Töpfer, U. ; Ballas, Ruediger ; Schlaak, Helmut F. ; Munz, G. ; Maichl, M. ; Münzenmaier, A.
Titel: Piezoelectric beam multilayer actuator with an integrated capacitive strain sensor to detect deflection
Sprache: Deutsch
Reihe: SENSOR 2003 : 11th international conference ; 13 - 15 May 2003, Exhibition Centre Nuremberg, Germany ; proceedings / an event of the Association for Sensor Technology, AMA.- Wunstorf : AMA Service Ges., 2003.- S. 279-286
Ort: Wunstorf
Verlag: AMA Service Ges.
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:22
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