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In-situ Prozessanalyse der CVS-Synthese von nano-kristallinem Siliziumkarbid mit Hilfe eines Aerosolmassenspektrometers

Lee, In-Kyum :
In-situ Prozessanalyse der CVS-Synthese von nano-kristallinem Siliziumkarbid mit Hilfe eines Aerosolmassenspektrometers.
Cuvillier , Göttingen
[Dissertation]

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 2005
Autor(en): Lee, In-Kyum
Titel: In-situ Prozessanalyse der CVS-Synthese von nano-kristallinem Siliziumkarbid mit Hilfe eines Aerosolmassenspektrometers
Sprache: Deutsch
Ort: Göttingen
Verlag: Cuvillier
Kollation: 149 S. : Ill., graph. Darst.
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Material- und Geowissenschaften
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:22
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