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Neuartige skalierbare Mikropositioniersysteme mit integrierter Kinematik

Schlaak, Helmut F. ; Jungnickel, Uwe ; Eicher, Dirk :
Neuartige skalierbare Mikropositioniersysteme mit integrierter Kinematik.
In: Mikrosystemtechnik Kongress 2005, 10. bis 12. Oktober 2005, Freiburg , Germany. VDE-Verl.
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2005)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2005
Autor(en): Schlaak, Helmut F. ; Jungnickel, Uwe ; Eicher, Dirk
Titel: Neuartige skalierbare Mikropositioniersysteme mit integrierter Kinematik
Sprache: Deutsch
Verlag: VDE-Verl.
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Veranstaltungstitel: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Veranstaltungsort: Freiburg , Germany
Veranstaltungsdatum: 10. bis 12. Oktober 2005
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:21
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