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Neuartige skalierbare Mikropositioniersysteme mit integrierter Kinematik

Schlaak, Helmut F. and Jungnickel, Uwe and Eicher, Dirk (2005):
Neuartige skalierbare Mikropositioniersysteme mit integrierter Kinematik.
VDE-Verl., In: Mikrosystemtechnik Kongress 2005, Freiburg , Germany, 10. bis 12. Oktober 2005, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2005
Creators: Schlaak, Helmut F. and Jungnickel, Uwe and Eicher, Dirk
Title: Neuartige skalierbare Mikropositioniersysteme mit integrierter Kinematik
Language: German
Publisher: VDE-Verl.
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
Event Title: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Event Location: Freiburg , Germany
Event Dates: 10. bis 12. Oktober 2005
Date Deposited: 20 Nov 2008 08:21
License: [undefiniert]
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