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A new structural approach for uniform sub-micrometer anode metallization of planar THz Schottky components

Cojocari, Oleg ; Biber, S. ; Rodriguez-Girones Arboli, Manuel ; Mottet, Bastian ; Marchand, L. ; Schmidt, L.-P. ; Hartnagel, Hans L. :
A new structural approach for uniform sub-micrometer anode metallization of planar THz Schottky components.
In: Semiconductor science & technology, 19 pp. 537-542.
[Artikel], (2004)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2004
Autor(en): Cojocari, Oleg ; Biber, S. ; Rodriguez-Girones Arboli, Manuel ; Mottet, Bastian ; Marchand, L. ; Schmidt, L.-P. ; Hartnagel, Hans L.
Titel: A new structural approach for uniform sub-micrometer anode metallization of planar THz Schottky components
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Semiconductor science & technology
Band: 19
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:21
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