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Electrical AFM Measurements for Evaluation of Nitride Erosion in Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Planarization

Stefanov, Yordan ; Ruland, Tino ; Schwalke, Udo :
Electrical AFM Measurements for Evaluation of Nitride Erosion in Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Planarization.
In: Proceedings of the MRS Fall Meeting 2004
[Artikel], (2004)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2004
Autor(en): Stefanov, Yordan ; Ruland, Tino ; Schwalke, Udo
Titel: Electrical AFM Measurements for Evaluation of Nitride Erosion in Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Planarization
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Proceedings of the MRS Fall Meeting 2004
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik
Veranstaltungstitel: Symposium on Scanning Probe and Other Novel Microscopies of Local Phenomena in Nanostructured Materials
Veranstaltungsort: Boston, MA, USA
Veranstaltungsdatum: 29.11.-03.12.2004
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:20
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