TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

Electrical AFM Measurements for STI CMP Erosion Evaluation

Stefanov, Yordan ; Komaragiri, Rama Subrahmanyam ; Ruland, Tino ; Schwalke, Udo (2004)
Electrical AFM Measurements for STI CMP Erosion Evaluation.
In: Nanoscale International Conference: Abstracts
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2004
Autor(en): Stefanov, Yordan ; Komaragiri, Rama Subrahmanyam ; Ruland, Tino ; Schwalke, Udo
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Electrical AFM Measurements for STI CMP Erosion Evaluation
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 15 Oktober 2004
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Nanoscale International Conference: Abstracts
Veranstaltungstitel: Nanoscale International Conference
Veranstaltungsort: Grenoble, Frankreich
Veranstaltungsdatum: 13.-15.10.2004
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:20
Letzte Änderung: 20 Feb 2020 13:25
PPN:
Export:
Suche nach Titel in: TUfind oder in Google
Frage zum Eintrag Frage zum Eintrag

Optionen (nur für Redakteure)
Redaktionelle Details anzeigen Redaktionelle Details anzeigen