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Electrical AFM Measurements for STI CMP Erosion Evaluation

Stefanov, Yordan ; Komaragiri, Rama Subrahmanyam ; Ruland, Tino ; Schwalke, Udo :
Electrical AFM Measurements for STI CMP Erosion Evaluation.
In: Nanoscale International Conference: Abstracts p. 97.
[Artikel], (2004)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2004
Autor(en): Stefanov, Yordan ; Komaragiri, Rama Subrahmanyam ; Ruland, Tino ; Schwalke, Udo
Titel: Electrical AFM Measurements for STI CMP Erosion Evaluation
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Nanoscale International Conference: Abstracts
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik
Veranstaltungstitel: Nanoscale International Conference
Veranstaltungsort: Grenoble, Frankreich
Veranstaltungsdatum: 13.-15.10.2004
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:20
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