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Dynamic modeling of interactions between fields and matter in MEMS devices

Zeng, Kaiping ; Liu, Zhenyu ; Korvink, Jan G. :
Dynamic modeling of interactions between fields and matter in MEMS devices.
In: Microsystem technologies, Vol. 1 pp. 387-392.
[Artikel], (2004)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2004
Autor(en): Zeng, Kaiping ; Liu, Zhenyu ; Korvink, Jan G.
Titel: Dynamic modeling of interactions between fields and matter in MEMS devices
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Microsystem technologies
Band: Vol. 1
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Informatik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:20
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