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Electrochemical micromachining of p-type silicon

Allongue, P. ; Jiang, R. ; Kirchner, V. ; Trimmer, A. L. ; Schuster, Rolf :
Electrochemical micromachining of p-type silicon.
In: Journal of Physical Chemistry : B, 108 pp. 14434-14439.
[Artikel], (2004)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2004
Autor(en): Allongue, P. ; Jiang, R. ; Kirchner, V. ; Trimmer, A. L. ; Schuster, Rolf
Titel: Electrochemical micromachining of p-type silicon
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Journal of Physical Chemistry : B
Band: 108
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Chemie
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:19
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