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Design of optimised metal diaphragms for miniaturised media separated silicon pressure sensors

Wohlgemuth, C. ; Werthschützky, Roland :
Design of optimised metal diaphragms for miniaturised media separated silicon pressure sensors.
In: Sensor und Test 2007, International Conference <13, 2007, Nürnberg>, 2007, S. 247-252 .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2007)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2007
Autor(en): Wohlgemuth, C. ; Werthschützky, Roland
Titel: Design of optimised metal diaphragms for miniaturised media separated silicon pressure sensors
Sprache: Englisch
Reihe: Sensor und Test 2007, International Conference <13, 2007, Nürnberg>, 2007, S. 247-252
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mess- und Sensortechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:18
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