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Design of optimised metal diaphragms for miniaturised media separated silicon pressure sensors

Wohlgemuth, C. ; Werthschützky, Roland (2007)
Design of optimised metal diaphragms for miniaturised media separated silicon pressure sensors.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2007
Autor(en): Wohlgemuth, C. ; Werthschützky, Roland
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Design of optimised metal diaphragms for miniaturised media separated silicon pressure sensors
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 1 Januar 2007
Reihe: Sensor und Test 2007, International Conference <13, 2007, Nürnberg>, 2007, S. 247-252
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:18
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 09:01
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