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Field emission from SiOx films deposited on Si and GaAs tip arrays

Evtukh, A. A. ; Litovchenko, V. G. ; Litvin, Yu. M. ; Hartnagel, Hans L. ; Yilmazoglu, Oktay :
Field emission from SiOx films deposited on Si and GaAs tip arrays.
In: IVMC, International Vacuum Microelectronics Conference <16, 2003, Toyonaka>: Technical digest ...- Osaka, 2003.- 314 S.- ISBN 4-8181-9515-4 .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2003)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2003
Autor(en): Evtukh, A. A. ; Litovchenko, V. G. ; Litvin, Yu. M. ; Hartnagel, Hans L. ; Yilmazoglu, Oktay
Titel: Field emission from SiOx films deposited on Si and GaAs tip arrays
Sprache: Englisch
Reihe: IVMC, International Vacuum Microelectronics Conference <16, 2003, Toyonaka>: Technical digest ...- Osaka, 2003.- 314 S.- ISBN 4-8181-9515-4
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:18
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