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New aspects of quantum electronics based MEMS

Hartnagel, Hans L. ; Mutamba, Kabula ; Yilmazoglu, Oktay :
New aspects of quantum electronics based MEMS.
In: Cross-Straight Symposium on Microsystems Technologies <1, 2000, Tainan, Taiwan>: Proceedings .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2000)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2000
Autor(en): Hartnagel, Hans L. ; Mutamba, Kabula ; Yilmazoglu, Oktay
Titel: New aspects of quantum electronics based MEMS
Sprache: Englisch
Reihe: Cross-Straight Symposium on Microsystems Technologies <1, 2000, Tainan, Taiwan>: Proceedings
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:18
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