Mutamba, Kabula ; Pfeiffer, J. ; Peerlings, J. ; Riemenschneider, R. ; Vogt, Alexander ; Dehé, A. ; Brauch, M. ; Meister, B. ; Dragojevic, N.
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ANSYS-structural design of micromachined Fabry-Pérot filter with planar membranes.
In: International Topical Meeting on Photoelectronics <1997, Beijing, China>: Proceedings
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Konferenzveröffentlichung]
, (1997)
Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung ( nicht bekannt) |
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Erschienen: | 1997 |
Autor(en): | Mutamba, Kabula ; Pfeiffer, J. ; Peerlings, J. ; Riemenschneider, R. ; Vogt, Alexander ; Dehé, A. ; Brauch, M. ; Meister, B. ; Dragojevic, N. |
Titel: | ANSYS-structural design of micromachined Fabry-Pérot filter with planar membranes |
Sprache: | Englisch |
Reihe: | International Topical Meeting on Photoelectronics <1997, Beijing, China>: Proceedings |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 15:54 |
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