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ANSYS-structural design of micromachined Fabry-Pérot filter with planar membranes

Mutamba, Kabula ; Pfeiffer, J. ; Peerlings, J. ; Riemenschneider, R. ; Vogt, Alexander ; Dehé, A. ; Brauch, M. ; Meister, B. ; Dragojevic, N. :
ANSYS-structural design of micromachined Fabry-Pérot filter with planar membranes.
In: International Topical Meeting on Photoelectronics <1997, Beijing, China>: Proceedings .
[ Konferenzveröffentlichung] , (1997)

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung ( nicht bekannt)
Erschienen: 1997
Autor(en): Mutamba, Kabula ; Pfeiffer, J. ; Peerlings, J. ; Riemenschneider, R. ; Vogt, Alexander ; Dehé, A. ; Brauch, M. ; Meister, B. ; Dragojevic, N.
Titel: ANSYS-structural design of micromachined Fabry-Pérot filter with planar membranes
Sprache: Englisch
Reihe: International Topical Meeting on Photoelectronics <1997, Beijing, China>: Proceedings
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:54
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