Mutamba, Kabula ; Pfeiffer, J. ; Peerlings, J. ; Riemenschneider, R. ; Vogt, Alexander ; Dehé, A. ; Brauch, M. ; Meister, B. ; Dragojevic, N.
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ANSYS-structural design of micromachined Fabry-Pérot filter with planar membranes.
In: International Topical Meeting on Photoelectronics <1997, Beijing, China>: Proceedings
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[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1997)
| Typ des Eintrags: | Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe) |
|---|---|
| Erschienen: | 1997 |
| Autor(en): | Mutamba, Kabula ; Pfeiffer, J. ; Peerlings, J. ; Riemenschneider, R. ; Vogt, Alexander ; Dehé, A. ; Brauch, M. ; Meister, B. ; Dragojevic, N. |
| Titel: | ANSYS-structural design of micromachined Fabry-Pérot filter with planar membranes |
| Sprache: | Englisch |
| Reihe: | International Topical Meeting on Photoelectronics <1997, Beijing, China>: Proceedings |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 15:54 |
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