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Untersuchung des Sputter-Ätzens auf die Eigenschaften von PVD-CrN-Hartstoffschichten auf Magnesium AZ91hp

Hoche, Holger and Scheerer, Herbert and Fritsche, Rainer and Thißen, Andreas and Flege, Stefan and Broszeit, Erhard and Berger, Christina and Ortner, Hugo M. and Jaegermann, Wolfram :
Untersuchung des Sputter-Ätzens auf die Eigenschaften von PVD-CrN-Hartstoffschichten auf Magnesium AZ91hp.
In: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik, 33 (3) pp. 132-141.
[Article] , (2002)

Abstract

Eine gängige Methode, zu beschichtende Oberflächen von Verunreinigungen zu befreien und die Adhäsionseigenschaften von PVD-Schichten zu verbessern, ist das sogenannte Sputter-Ätzen vor dem eigentlichen PVD-Beschichtungsprozess. Beim Sputter-Ätzen wird der Beschichtungsprozess umgekehrt und die Oberfläche des Substrates selbst wird gesputtert. Im Rahmen dieser Veröffentlichung wurden vor der Abscheidung von PVD-CrN Schichten die Substrate der Magnesium Druckgusslegierung AZ91 unterschiedlichen Ätzzeiten unterzogen und deren jeweiliger Einfluss auf die Grenzfläche Schicht-Grundwerkstoff, auf die Schichtoberfläche und auf die mechanischen Eigenschaften des beschichteten Systems hin untersucht. Die Grenzflächenuntersuchungen wurden mit tiefenaufgelöster XPS und mit SIMS durchgeführt. Die Oberflächen wurden mit hochauflösender Rasterelektronenmikroskopie und AFM untersucht. Die Charakterisierung der mechanischen Eigenschaften beinhaltet Schichtdicke, Schichthärte, Härtetiefenprofile, Schichthaftung, Schichteigenspannungen und die Schichtstruktur. Es wurden zum Teil sehr starke Eigenschaftsänderungen mit zunehmender Ätzzeit festgestellt. Dies betrifft vor allem einige mechanische Eigenschaften sowie die Oberflächenrauheit der beschichteten Systeme. Beim Schichtsystem AZ91-Cr/CrN führen längere Ätzzeiten zu einer Verbesserung der Schichtqualitäten.

Item Type: Article
Erschienen: 2002
Creators: Hoche, Holger and Scheerer, Herbert and Fritsche, Rainer and Thißen, Andreas and Flege, Stefan and Broszeit, Erhard and Berger, Christina and Ortner, Hugo M. and Jaegermann, Wolfram
Title: Untersuchung des Sputter-Ätzens auf die Eigenschaften von PVD-CrN-Hartstoffschichten auf Magnesium AZ91hp
Language: German
Abstract:

Eine gängige Methode, zu beschichtende Oberflächen von Verunreinigungen zu befreien und die Adhäsionseigenschaften von PVD-Schichten zu verbessern, ist das sogenannte Sputter-Ätzen vor dem eigentlichen PVD-Beschichtungsprozess. Beim Sputter-Ätzen wird der Beschichtungsprozess umgekehrt und die Oberfläche des Substrates selbst wird gesputtert. Im Rahmen dieser Veröffentlichung wurden vor der Abscheidung von PVD-CrN Schichten die Substrate der Magnesium Druckgusslegierung AZ91 unterschiedlichen Ätzzeiten unterzogen und deren jeweiliger Einfluss auf die Grenzfläche Schicht-Grundwerkstoff, auf die Schichtoberfläche und auf die mechanischen Eigenschaften des beschichteten Systems hin untersucht. Die Grenzflächenuntersuchungen wurden mit tiefenaufgelöster XPS und mit SIMS durchgeführt. Die Oberflächen wurden mit hochauflösender Rasterelektronenmikroskopie und AFM untersucht. Die Charakterisierung der mechanischen Eigenschaften beinhaltet Schichtdicke, Schichthärte, Härtetiefenprofile, Schichthaftung, Schichteigenspannungen und die Schichtstruktur. Es wurden zum Teil sehr starke Eigenschaftsänderungen mit zunehmender Ätzzeit festgestellt. Dies betrifft vor allem einige mechanische Eigenschaften sowie die Oberflächenrauheit der beschichteten Systeme. Beim Schichtsystem AZ91-Cr/CrN führen längere Ätzzeiten zu einer Verbesserung der Schichtqualitäten.

Journal or Publication Title: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik
Volume: 33
Number: 3
Publisher: Wiley
Uncontrolled Keywords: PVD-CrN Schichten, Sputter-Ätzen, Magnesium AZ91hp, Charakterisierung, PVD-CrN deposition, sputter etching, magnesium alloy AZ91hp, characterization
Divisions: 11 Department of Materials and Earth Sciences > Material Science > Material Analytics
11 Department of Materials and Earth Sciences > Material Science > Surface Science
16 Department of Mechanical Engineering
16 Department of Mechanical Engineering > Center for Engineering Materials, State Materials Testing Institute Darmstadt (MPA) Chair and Institute for Materials Technology (IfW)
11 Department of Materials and Earth Sciences > Material Science
11 Department of Materials and Earth Sciences
Date Deposited: 20 Nov 2008 08:16
Identification Number: doi:10.1002/1521-4052(200203)33:3<132::AID-MAWE132>3.0.CO;2-J
Funders: Die Autoren dieser Veröffentlichung danken für die Förderung durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG).
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