Hoche, Holger ; Scheerer, Herbert ; Fritsche, Rainer ; Thißen, Andreas ; Flege, Stefan ; Broszeit, Erhard ; Berger, Christina ; Ortner, Hugo M. ; Jaegermann, Wolfram (2002)
Untersuchung des Sputter-Ätzens auf die Eigenschaften von PVD-CrN-Hartstoffschichten auf Magnesium AZ91hp.
In: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik, 33 (3)
doi: 10.1002/1521-4052(200203)33:3<132::AID-MAWE132>3.0.CO;2-J
Artikel, Bibliographie
Kurzbeschreibung (Abstract)
Eine gängige Methode, zu beschichtende Oberflächen von Verunreinigungen zu befreien und die Adhäsionseigenschaften von PVD-Schichten zu verbessern, ist das sogenannte Sputter-Ätzen vor dem eigentlichen PVD-Beschichtungsprozess. Beim Sputter-Ätzen wird der Beschichtungsprozess umgekehrt und die Oberfläche des Substrates selbst wird gesputtert. Im Rahmen dieser Veröffentlichung wurden vor der Abscheidung von PVD-CrN Schichten die Substrate der Magnesium Druckgusslegierung AZ91 unterschiedlichen Ätzzeiten unterzogen und deren jeweiliger Einfluss auf die Grenzfläche Schicht-Grundwerkstoff, auf die Schichtoberfläche und auf die mechanischen Eigenschaften des beschichteten Systems hin untersucht. Die Grenzflächenuntersuchungen wurden mit tiefenaufgelöster XPS und mit SIMS durchgeführt. Die Oberflächen wurden mit hochauflösender Rasterelektronenmikroskopie und AFM untersucht. Die Charakterisierung der mechanischen Eigenschaften beinhaltet Schichtdicke, Schichthärte, Härtetiefenprofile, Schichthaftung, Schichteigenspannungen und die Schichtstruktur. Es wurden zum Teil sehr starke Eigenschaftsänderungen mit zunehmender Ätzzeit festgestellt. Dies betrifft vor allem einige mechanische Eigenschaften sowie die Oberflächenrauheit der beschichteten Systeme. Beim Schichtsystem AZ91-Cr/CrN führen längere Ätzzeiten zu einer Verbesserung der Schichtqualitäten.
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2002 |
| Autor(en): | Hoche, Holger ; Scheerer, Herbert ; Fritsche, Rainer ; Thißen, Andreas ; Flege, Stefan ; Broszeit, Erhard ; Berger, Christina ; Ortner, Hugo M. ; Jaegermann, Wolfram |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Untersuchung des Sputter-Ätzens auf die Eigenschaften von PVD-CrN-Hartstoffschichten auf Magnesium AZ91hp |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | März 2002 |
| Verlag: | Wiley |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Materialwissenschaft und Werkstofftechnik |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 33 |
| (Heft-)Nummer: | 3 |
| DOI: | 10.1002/1521-4052(200203)33:3<132::AID-MAWE132>3.0.CO;2-J |
| Kurzbeschreibung (Abstract): | Eine gängige Methode, zu beschichtende Oberflächen von Verunreinigungen zu befreien und die Adhäsionseigenschaften von PVD-Schichten zu verbessern, ist das sogenannte Sputter-Ätzen vor dem eigentlichen PVD-Beschichtungsprozess. Beim Sputter-Ätzen wird der Beschichtungsprozess umgekehrt und die Oberfläche des Substrates selbst wird gesputtert. Im Rahmen dieser Veröffentlichung wurden vor der Abscheidung von PVD-CrN Schichten die Substrate der Magnesium Druckgusslegierung AZ91 unterschiedlichen Ätzzeiten unterzogen und deren jeweiliger Einfluss auf die Grenzfläche Schicht-Grundwerkstoff, auf die Schichtoberfläche und auf die mechanischen Eigenschaften des beschichteten Systems hin untersucht. Die Grenzflächenuntersuchungen wurden mit tiefenaufgelöster XPS und mit SIMS durchgeführt. Die Oberflächen wurden mit hochauflösender Rasterelektronenmikroskopie und AFM untersucht. Die Charakterisierung der mechanischen Eigenschaften beinhaltet Schichtdicke, Schichthärte, Härtetiefenprofile, Schichthaftung, Schichteigenspannungen und die Schichtstruktur. Es wurden zum Teil sehr starke Eigenschaftsänderungen mit zunehmender Ätzzeit festgestellt. Dies betrifft vor allem einige mechanische Eigenschaften sowie die Oberflächenrauheit der beschichteten Systeme. Beim Schichtsystem AZ91-Cr/CrN führen längere Ätzzeiten zu einer Verbesserung der Schichtqualitäten. |
| Freie Schlagworte: | PVD-CrN Schichten, Sputter-Ätzen, Magnesium AZ91hp, Charakterisierung, PVD-CrN deposition, sputter etching, magnesium alloy AZ91hp, characterization |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Materialanalytik 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Oberflächenforschung 16 Fachbereich Maschinenbau 16 Fachbereich Maschinenbau > Fachgebiet und Institut für Werkstoffkunde - Zentrum für Konstruktionswerkstoffe - Staatliche Materialprüfungsanstalt Darmstadt (IfW-MPA) |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:16 |
| Letzte Änderung: | 20 Feb 2020 13:26 |
| PPN: | |
| Sponsoren: | Die Autoren dieser Veröffentlichung danken für die Förderung durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG). |
| Export: | |
| Suche nach Titel in: | TUfind oder in Google |
 |
Frage zum Eintrag |
Optionen (nur für Redakteure)
 |
Redaktionelle Details anzeigen |
Drucken
Impressum