Ganz, Thomas (2003)
Berührungslose Oberflächencharakterisierung von Mikrostrukturen.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Dissertation |
|---|---|
| Erschienen: | 2003 |
| Autor(en): | Ganz, Thomas |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Berührungslose Oberflächencharakterisierung von Mikrostrukturen |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 2003 |
| Ort: | Aachen |
| Verlag: | Shaker |
| Kollation: | VI, 134 S., Ill. graph. Darst. |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 05 Fachbereich Physik |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:16 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 08:56 |
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