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Ein neuartiger piezoresistiver Silizium-Hochdrucksensor

Stavroulis, Stefanos ; Werthschützky, Roland (2002)
Ein neuartiger piezoresistiver Silizium-Hochdrucksensor.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2002
Autor(en): Stavroulis, Stefanos ; Werthschützky, Roland
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Ein neuartiger piezoresistiver Silizium-Hochdrucksensor
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 1 Januar 2002
Ort: Aachen
Verlag: Shaker
Reihe: Messtechnisches Symposium <16, 2002, Kassel>: XVI. Messtechnisches Symposium des Arbeitskreises der Hochschullehrer für Messtechnik ... Tagungsbd. / Wolf-Jürgen Becker ... Hrsg.- Aachen: Shaker, 2002.- ISBN 3-8322-0639-6.- S. 1-12
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:16
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 08:56
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