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Ein neuartiger piezoresistiver Silizium-Hochdrucksensor

Stavroulis, Stefanos and Werthschützky, Roland (2002):
Ein neuartiger piezoresistiver Silizium-Hochdrucksensor.
Aachen, Shaker, In: Messtechnisches Symposium <16, 2002, Kassel>: XVI. Messtechnisches Symposium des Arbeitskreises der Hochschullehrer für Messtechnik ... Tagungsbd. / Wolf-Jürgen Becker ... Hrsg.- Aachen: Shaker, 2002.- ISBN 3-8322-0639-6.- S. 1-12, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2002
Creators: Stavroulis, Stefanos and Werthschützky, Roland
Title: Ein neuartiger piezoresistiver Silizium-Hochdrucksensor
Language: German
Series Name: Messtechnisches Symposium <16, 2002, Kassel>: XVI. Messtechnisches Symposium des Arbeitskreises der Hochschullehrer für Messtechnik ... Tagungsbd. / Wolf-Jürgen Becker ... Hrsg.- Aachen: Shaker, 2002.- ISBN 3-8322-0639-6.- S. 1-12
Place of Publication: Aachen
Publisher: Shaker
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Measurement and Sensor Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
Date Deposited: 20 Nov 2008 08:16
License: [undefiniert]
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