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Plasma deposition of low stress electret films for electroacoustic and solar cell applications

Klemberg-Sapieha, J. ; Martinu, L. ; Thielemann, C. ; Günther, P. :
Plasma deposition of low stress electret films for electroacoustic and solar cell applications.
In: Journal of vaccum science and technology. 13 (1995)
[Artikel], (1995)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1995
Autor(en): Klemberg-Sapieha, J. ; Martinu, L. ; Thielemann, C. ; Günther, P.
Titel: Plasma deposition of low stress electret films for electroacoustic and solar cell applications
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Journal of vaccum science and technology. 13 (1995)
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:28
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