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Hermetisch dichte Miniaturgehäuse für mikromechanisch hergestellte Drucksensoren

Hohlfeld, Olaf ; Werthschützky, Roland :
Hermetisch dichte Miniaturgehäuse für mikromechanisch hergestellte Drucksensoren.
In: Internationales Wissenschaftliches Kolloquium - International Scientific Colloquium <44, 1999, Ilmenau>: Proceedings. Vol. 2, S. 360-365 .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1999)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1999
Autor(en): Hohlfeld, Olaf ; Werthschützky, Roland
Titel: Hermetisch dichte Miniaturgehäuse für mikromechanisch hergestellte Drucksensoren
Sprache: Deutsch
Reihe: Internationales Wissenschaftliches Kolloquium - International Scientific Colloquium <44, 1999, Ilmenau>: Proceedings. Vol. 2, S. 360-365
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mess- und Sensortechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:28
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