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Hermetisch dichte Miniaturgehäuse für mikromechanisch hergestellte Drucksensoren

Hohlfeld, Olaf ; Werthschützky, Roland (1999)
Hermetisch dichte Miniaturgehäuse für mikromechanisch hergestellte Drucksensoren.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 1999
Autor(en): Hohlfeld, Olaf ; Werthschützky, Roland
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Hermetisch dichte Miniaturgehäuse für mikromechanisch hergestellte Drucksensoren
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 1 Januar 1999
Reihe: Internationales Wissenschaftliches Kolloquium - International Scientific Colloquium <44, 1999, Ilmenau>: Proceedings. Vol. 2, S. 360-365
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:28
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 08:52
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