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Hermetisch dichte Miniaturgehäuse für mikromechanisch hergestellte Drucksensoren

Hohlfeld, Olaf and Werthschützky, Roland (1999):
Hermetisch dichte Miniaturgehäuse für mikromechanisch hergestellte Drucksensoren.
In: Internationales Wissenschaftliches Kolloquium - International Scientific Colloquium <44, 1999, Ilmenau>: Proceedings. Vol. 2, S. 360-365, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 1999
Creators: Hohlfeld, Olaf and Werthschützky, Roland
Title: Hermetisch dichte Miniaturgehäuse für mikromechanisch hergestellte Drucksensoren
Language: German
Series Name: Internationales Wissenschaftliches Kolloquium - International Scientific Colloquium <44, 1999, Ilmenau>: Proceedings. Vol. 2, S. 360-365
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Measurement and Sensor Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:28
License: [undefiniert]
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