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Ultra-Thick Gate Oxides: Charge Generation and Its Iimpact on Reliability

Schwalke, Udo ; Pölzl, Martin ; Sekinger, Thomas ; Kerber, Martin (2001)
Ultra-Thick Gate Oxides: Charge Generation and Its Iimpact on Reliability.
In: Microelectronics Reliability, 41 (7)
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2001
Autor(en): Schwalke, Udo ; Pölzl, Martin ; Sekinger, Thomas ; Kerber, Martin
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Ultra-Thick Gate Oxides: Charge Generation and Its Iimpact on Reliability
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 2001
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Microelectronics Reliability
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 41
(Heft-)Nummer: 7
URL / URN: http://dx.doi.org/10.1016/S0026-2714(01)00058-0
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:28
Letzte Änderung: 20 Feb 2020 13:27
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