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Miniaturisierte korrosionsfeste Gehäuse für Silizium-Drucksensoren

Hohlfeld, Olaf (2001):
Miniaturisierte korrosionsfeste Gehäuse für Silizium-Drucksensoren.
Düsseldorf, VDI-Verl., TU Darmstadt, 878, [Ph.D. Thesis]

Item Type: Ph.D. Thesis
Erschienen: 2001
Creators: Hohlfeld, Olaf
Title: Miniaturisierte korrosionsfeste Gehäuse für Silizium-Drucksensoren
Language: German
Volume: 878
Place of Publication: Düsseldorf
Publisher: VDI-Verl.
Collation: XII,132 S.
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Measurement and Sensor Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:26
License: [undefiniert]
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