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A new self aligned technique for HBTs using electrolytical deposition of base metal

Schüßler, Martin ; Statzner, ; Granero, ; Hartnagel, Hans L. :
A new self aligned technique for HBTs using electrolytical deposition of base metal.
In: European Gallium Arsenide and Related III-V Compounds Applications Symposium <5, 1997, Bologna, Italy>: Proceedings .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1997)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1997
Autor(en): Schüßler, Martin ; Statzner, ; Granero, ; Hartnagel, Hans L.
Titel: A new self aligned technique for HBTs using electrolytical deposition of base metal
Sprache: Englisch
Reihe: European Gallium Arsenide and Related III-V Compounds Applications Symposium <5, 1997, Bologna, Italy>: Proceedings
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:25
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