Hartnagel, Hans L. ; Mutamba, K. ; Pfeiffer, J. (2000)
III-V compound materials for MEMS including filters.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2000 |
| Autor(en): | Hartnagel, Hans L. ; Mutamba, K. ; Pfeiffer, J. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | III-V compound materials for MEMS including filters |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2000 |
| Reihe: | International Electronics Devices and Materials Symposium <2000, Taiwan>: Proceedings |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:25 |
| Letzte Änderung: | 14 Feb 2019 10:47 |
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