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III-V compound materials for MEMS including filters

Hartnagel, Hans L. ; Mutamba, K. ; Pfeiffer, J. :
III-V compound materials for MEMS including filters.
In: International Electronics Devices and Materials Symposium <2000, Taiwan>: Proceedings .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2000)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2000
Autor(en): Hartnagel, Hans L. ; Mutamba, K. ; Pfeiffer, J.
Titel: III-V compound materials for MEMS including filters
Sprache: Englisch
Reihe: International Electronics Devices and Materials Symposium <2000, Taiwan>: Proceedings
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:25
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