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Halbleiterrelais: MEMS (Mikroelektromechanische Systeme)

Schlaak, Helmut F. (2000):
Halbleiterrelais: MEMS (Mikroelektromechanische Systeme).
In: Moderne Relaistechnik: Fachveranstaltung, Haus der Technik e.V. Essen 2000; Tagungsbd.- Essen 2000, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2000
Creators: Schlaak, Helmut F.
Title: Halbleiterrelais: MEMS (Mikroelektromechanische Systeme)
Language: German
Series Name: Moderne Relaistechnik: Fachveranstaltung, Haus der Technik e.V. Essen 2000; Tagungsbd.- Essen 2000
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:25
License: [undefiniert]
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