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Halbleiterrelais: MEMS (Mikroelektromechanische Systeme)

Schlaak, Helmut F. :
Halbleiterrelais: MEMS (Mikroelektromechanische Systeme).
In: Moderne Relaistechnik: Fachveranstaltung, Haus der Technik e.V. Essen 2000; Tagungsbd.- Essen 2000 .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2000)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2000
Autor(en): Schlaak, Helmut F.
Titel: Halbleiterrelais: MEMS (Mikroelektromechanische Systeme)
Sprache: Deutsch
Reihe: Moderne Relaistechnik: Fachveranstaltung, Haus der Technik e.V. Essen 2000; Tagungsbd.- Essen 2000
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:25
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