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Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) in der Relaistechnik

Schlaak, Helmut F. :
Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) in der Relaistechnik.
In: Haus der Technik: Fachveranstaltung Moderne Relaistechnik, München, 11.-12. Dezember 2002 ; Tagungsbd. .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2002)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2002
Autor(en): Schlaak, Helmut F.
Titel: Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) in der Relaistechnik
Sprache: Deutsch
Reihe: Haus der Technik: Fachveranstaltung Moderne Relaistechnik, München, 11.-12. Dezember 2002 ; Tagungsbd.
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:25
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