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Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) in der Relaistechnik

Schlaak, Helmut F. (2002):
Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) in der Relaistechnik.
In: Haus der Technik: Fachveranstaltung Moderne Relaistechnik, München, 11.-12. Dezember 2002 ; Tagungsbd., [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2002
Creators: Schlaak, Helmut F.
Title: Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) in der Relaistechnik
Language: German
Series Name: Haus der Technik: Fachveranstaltung Moderne Relaistechnik, München, 11.-12. Dezember 2002 ; Tagungsbd.
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Microtechnology and Electromechanical Systems
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:25
License: [undefiniert]
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