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Mikrooptisches Silizium-Mikrofon mit Fabry-Perot-Cavity

Klaiber, Martin (2004):
Mikrooptisches Silizium-Mikrofon mit Fabry-Perot-Cavity.
In: Sensoren und Messsysteme 2004 : Tagung Ludwigsburg, 15. und 16. März 2004 / VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik.- Düsseldorf : VDI-Verl., 2004.- 922 S.- (VDI-Berichte ; 1829).-ISBN 3-18-091829-2.- S. 349-357, Düsseldorf, VDI-Verl., [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2004
Creators: Klaiber, Martin
Title: Mikrooptisches Silizium-Mikrofon mit Fabry-Perot-Cavity
Language: German
Series Name: Sensoren und Messsysteme 2004 : Tagung Ludwigsburg, 15. und 16. März 2004 / VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik.- Düsseldorf : VDI-Verl., 2004.- 922 S.- (VDI-Berichte ; 1829).-ISBN 3-18-091829-2.- S. 349-357
Place of Publication: Düsseldorf
Publisher: VDI-Verl.
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:24
License: [undefiniert]
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