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Erzeugung lokaler Eigenschaftsprofile bei PVD-Sputterschichten für tribologische Anwendungen

Berg, Günter :
Erzeugung lokaler Eigenschaftsprofile bei PVD-Sputterschichten für tribologische Anwendungen.
Shaker , Aachen
[Ph.D. Thesis]

Item Type: Ph.D. Thesis
Erschienen: 1998
Creators: Berg, Günter
Title: Erzeugung lokaler Eigenschaftsprofile bei PVD-Sputterschichten für tribologische Anwendungen
Language: German
Place of Publication: Aachen
Publisher: Shaker
Edition: Aachen: Shaker, 1998. 167 S
Collation: 167 S
Divisions: 16 Department of Mechanical Engineering
Date Deposited: 19 Nov 2008 15:55
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