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Erzeugung lokaler Eigenschaftsprofile bei PVD-Sputterschichten für tribologische Anwendungen

Berg, Günter :
Erzeugung lokaler Eigenschaftsprofile bei PVD-Sputterschichten für tribologische Anwendungen.
Shaker , Aachen
[Dissertation]

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 1998
Autor(en): Berg, Günter
Titel: Erzeugung lokaler Eigenschaftsprofile bei PVD-Sputterschichten für tribologische Anwendungen
Sprache: Deutsch
Ort: Aachen
Verlag: Shaker
Edition: Aachen: Shaker, 1998. 167 S
Kollation: 167 S
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Maschinenbau
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:55
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