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Comparison of SIMS and e-beam SNMS depth profiling results using oxygen, cesium and argon as primary ions

Breuer, U. ; Holzbrecher, ; Gastel, ; Becker, ; Dietze, :
Comparison of SIMS and e-beam SNMS depth profiling results using oxygen, cesium and argon as primary ions.
In: International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry <10, 1997>: Proceedings. Hrsg.: A. Benninghoven (u.a.) S. 391-394 . Wiley , Chicheter
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1997)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1997
Autor(en): Breuer, U. ; Holzbrecher, ; Gastel, ; Becker, ; Dietze,
Titel: Comparison of SIMS and e-beam SNMS depth profiling results using oxygen, cesium and argon as primary ions
Sprache: Englisch
Reihe: International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry <10, 1997>: Proceedings. Hrsg.: A. Benninghoven (u.a.) S. 391-394
Ort: Chicheter
Verlag: Wiley
Edition: Chicheter: Wiley, 1997
Fachbereich(e)/-gebiet(e): FB Materialwissenschaft (aufgegangen in FB11)
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:23
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