Hegemann, Dirk ; Riedel, R. ; Dreßler, W. ; Oehr, C. ; Schindler, B. ; Brunner, H. (1997)
Boron carbonitride thin films by PACVD of single source precursors.
In: Chemical Vapor Deposition, 3 (5)
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1997 |
| Autor(en): | Hegemann, Dirk ; Riedel, R. ; Dreßler, W. ; Oehr, C. ; Schindler, B. ; Brunner, H. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Boron carbonitride thin films by PACVD of single source precursors |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 1997 |
| Verlag: | WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Chemical Vapor Deposition |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 3 |
| (Heft-)Nummer: | 5 |
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| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Disperse Feststoffe 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Fachbereich Materialwissenschaft (1999 aufgegangen in 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften) |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:23 |
| Letzte Änderung: | 07 Jan 2021 12:05 |
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