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Comparison of fundamental properties of r.f.-sputtered TiNx - and HfNx- coatings on steel substrates

Berg, Günter ; Friedrich, C. ; Broszeit, E. ; Kloos, Karl Heinz :
Comparison of fundamental properties of r.f.-sputtered TiNx - and HfNx- coatings on steel substrates.
In: Surface and coatings technology. 74/75 (1995), S. 135-142
[Artikel], (1995)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1995
Autor(en): Berg, Günter ; Friedrich, C. ; Broszeit, E. ; Kloos, Karl Heinz
Titel: Comparison of fundamental properties of r.f.-sputtered TiNx - and HfNx- coatings on steel substrates
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Surface and coatings technology. 74/75 (1995), S. 135-142
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Maschinenbau
Fachbereich Maschinenbau > Werkstoffkunde
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:22
Zusätzliche Informationen:

Ersch. ebenf. in: Plasma surface engineering: Proceedings of the 4th Internat. Conf., 1994 Garmisch-Partenkirchen. Hrsg.: L. Stals (u.a.)

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