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Low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition of 2-D MoS2: large area, thickness control and tuneable morphology

Sharma, Akhil ; Verheijen, Marcel A. ; Wu, Longfei ; Karwal, Saurabh ; Vandalon, Vincent ; Knoops, Harm C. M. ; Sundaram, Ravi S. ; Hofmann, Jan P. ; Kessels, W. M. M. (Erwin) ; Bol, Ageeth A. (2018)
Low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition of 2-D MoS2: large area, thickness control and tuneable morphology.
In: Nanoscale, 10 (18)
doi: 10.1039/C8NR02339E
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2018
Autor(en): Sharma, Akhil ; Verheijen, Marcel A. ; Wu, Longfei ; Karwal, Saurabh ; Vandalon, Vincent ; Knoops, Harm C. M. ; Sundaram, Ravi S. ; Hofmann, Jan P. ; Kessels, W. M. M. (Erwin) ; Bol, Ageeth A.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition of 2-D MoS2: large area, thickness control and tuneable morphology
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 18 April 2018
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Nanoscale
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 10
(Heft-)Nummer: 18
DOI: 10.1039/C8NR02339E
URL / URN: https://doi.org/10.1039/C8NR02339E
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Oberflächenforschung
Hinterlegungsdatum: 07 Jul 2020 05:25
Letzte Änderung: 07 Jul 2020 05:25
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