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Optimierung der Abscheideparameter für PECVD Prozesse durch Messung der optischen Eigenschaften der Schichten

Cesar, Julijan ; Paul, Sujoy ; Gierl, Christian ; Küppers, Franko (2015)
Optimierung der Abscheideparameter für PECVD Prozesse durch Messung der optischen Eigenschaften der Schichten.
SENTECH Seminar: Ellipsometrie und Reflektometrie zur Charakterisierung dünner Schichten. Stuttgart, Germany (18.06.2015)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2015
Autor(en): Cesar, Julijan ; Paul, Sujoy ; Gierl, Christian ; Küppers, Franko
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Optimierung der Abscheideparameter für PECVD Prozesse durch Messung der optischen Eigenschaften der Schichten
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: Juni 2015
Veranstaltungstitel: SENTECH Seminar: Ellipsometrie und Reflektometrie zur Charakterisierung dünner Schichten
Veranstaltungsort: Stuttgart, Germany
Veranstaltungsdatum: 18.06.2015
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP) > Terahertz Sensors Group
Hinterlegungsdatum: 24 Apr 2020 08:27
Letzte Änderung: 02 Jul 2020 11:51
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