Cesar, Julijan and Paul, Sujoy and Gierl, Christian and Küppers, Franko (2015):
Optimierung der Abscheideparameter für PECVD Prozesse durch Messung der optischen Eigenschaften der Schichten.
SENTECH Seminar: Ellipsometrie und Reflektometrie zur Charakterisierung dünner Schichten, Stuttgart, Germany, 18.06.2015, [Conference or Workshop Item]
| Item Type: | Conference or Workshop Item |
|---|---|
| Erschienen: | 2015 |
| Creators: | Cesar, Julijan and Paul, Sujoy and Gierl, Christian and Küppers, Franko |
| Title: | Optimierung der Abscheideparameter für PECVD Prozesse durch Messung der optischen Eigenschaften der Schichten |
| Language: | German |
| Divisions: | 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Microwave Engineering and Photonics 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Microwave Engineering and Photonics > Terahertz Sensors Group |
| Event Title: | SENTECH Seminar: Ellipsometrie und Reflektometrie zur Charakterisierung dünner Schichten |
| Event Location: | Stuttgart, Germany |
| Event Dates: | 18.06.2015 |
| Date Deposited: | 24 Apr 2020 08:27 |
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