TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

Optimierung der Abscheideparameter für PECVD Prozesse durch Messung der optischen Eigenschaften der Schichten

Cesar, Julijan and Paul, Sujoy and Gierl, Christian and Küppers, Franko (2015):
Optimierung der Abscheideparameter für PECVD Prozesse durch Messung der optischen Eigenschaften der Schichten.
SENTECH Seminar: Ellipsometrie und Reflektometrie zur Charakterisierung dünner Schichten, Stuttgart, Germany, 18.06.2015, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2015
Creators: Cesar, Julijan and Paul, Sujoy and Gierl, Christian and Küppers, Franko
Title: Optimierung der Abscheideparameter für PECVD Prozesse durch Messung der optischen Eigenschaften der Schichten
Language: German
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Microwave Engineering and Photonics
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Microwave Engineering and Photonics > Terahertz Sensors Group
Event Title: SENTECH Seminar: Ellipsometrie und Reflektometrie zur Charakterisierung dünner Schichten
Event Location: Stuttgart, Germany
Event Dates: 18.06.2015
Date Deposited: 24 Apr 2020 08:27
Export:
Suche nach Titel in: TUfind oder in Google
Send an inquiry Send an inquiry

Options (only for editors)
Show editorial Details Show editorial Details