Zeng, Kaiping ; Korvink, Jan (2005)
The computation of electrostatic forces in MEMS: spatial method vs. material method.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2005 |
| Autor(en): | Zeng, Kaiping ; Korvink, Jan |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | The computation of electrostatic forces in MEMS: spatial method vs. material method |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | April 2005 |
| Buchtitel: | The 6th IEEE EuroSimE |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 20 Fachbereich Informatik > Integrierte Schaltungen und Systeme 20 Fachbereich Informatik |
| Hinterlegungsdatum: | 31 Dez 2016 00:15 |
| Letzte Änderung: | 17 Mai 2018 08:56 |
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